センサ｜基礎編

薄膜ピエゾMEMS

  • ピエゾ(圧電素子)とは？
    ピエゾ(圧電素子)は力を加えることで電圧を発生したり、逆に電圧を加えることで変形したりするデバイスのことをいいます。
  • ピエゾ関連用語
    ピエゾの関連用語について簡単に説明しています。
  • MEMS（メムス）
    微細加工技術によって、機械要素部品,電子回路,センサ,アクチュエータを一つの基板上で集積化した高付加価値デバイスがMEMSです。
  • MEMS関連用語
    MEMSの関連用語について簡単に説明しています。